◆電子氣體：高純氯氣、氨氣、氖氣、氪氣、三氯氫硅、四氟化碳、六氟化硫、鍺烷、高純鍺烷、氯化氫、氧化亞氮、氧硫化碳（COS羰基硫）、乙硼烷、砷烷、高純砷烷、磷烷、高純磷烷、硅烷、二氯二氫硅、高純?nèi)�氯化硼、高純溴化氫、高純乙硅烷、八氟環(huán)丁烷、甲烷、一氧化二氮、六氯乙硅烷和四氯化硅等。
◆制備高純電子氣體純化技術(shù)、電解技術(shù)、電解電源、凈化技術(shù)、高精度分析檢測技術(shù)、氣體潔凈充裝技術(shù)、高純混合氣體配制系統(tǒng)、電子氣體輸送系統(tǒng)、管道與運輸技術(shù)等。

報到布展：2021年8月21-22日
展出時間: 2021年8月23-25日