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1、MEMS器件：光學MEMS；射頻MEMS；MEMS物理傳感器 (加速傳感器、速率傳感器、壓力傳感器、氣體傳感器、溫度傳感器)；微射流（微流引導、微感應器等）；MEMS執(zhí)行器；MEMS電能（燃料電池、微發(fā)電機等）；高復合型MEMS (CMOS/MEMS、LSI/MEMS 一體化)。
2、MEMS代工服務：仿真設計、原型測試、產(chǎn)品開發(fā)、量產(chǎn)；其他代工服務：圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍等。
3、MEMS應用：超微型機械人裝置、微型工廠等；傳感器網(wǎng)絡；能量收集等。
4、MEMS加工設備：薄膜成形（汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍；曝光系統(tǒng)、蝕刻技術；防腐處理；刻蝕；晶圓鍵合；切割；芯片/導線焊接；封裝；微成形 (注射、熱壓)；其他生產(chǎn)設備。
5、分析與檢測儀器：光罩缺陷檢測、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統(tǒng)；顯微鏡：光學顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀；檢漏儀器、靜電負離子空氣凈化機；氣體分析及檢測、分析和測量系統(tǒng)等。
6、納米機械微制程技術：超精度納米機械工藝；超精密加工、微制造；表面微加工；精細鉆孔；微觀切割；雷射、離子脈沖加工；聚焦離子束系統(tǒng)；微放電加工；超聲波設備等。
7、納米壓印技術：微納米模型；納米壓印生產(chǎn)設等備。
8、生物技術與醫(yī)療應用：MEMS在醫(yī)療處理及診斷方面的應用、DDS、納米膠囊；尖端DNA&RNA 技術、微反應器、微流引導、生物/化學MEMS（DNA/RNA技術、化學檢測）等。