1、MEMS器件:光學(xué)MEMS;射頻MEMS;MEMS物理傳感器 (加速傳感器、速率傳感器、壓力傳感器、氣體傳感器、溫度傳感器);微射流(微流引導(dǎo)、微感應(yīng)器等);MEMS執(zhí)行器;MEMS電能(燃料電池、微發(fā)電機(jī)等);高復(fù)合型MEMS (CMOS/MEMS、LSI/MEMS 一體化)。
2、MEMS代工服務(wù):仿真設(shè)計(jì)、原型測試、產(chǎn)品開發(fā)、量產(chǎn);其他代工服務(wù):圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍等。
3、MEMS應(yīng)用:超微型機(jī)械人裝置、微型工廠等;傳感器網(wǎng)絡(luò);能量收集等。
4、MEMS加工設(shè)備:薄膜成形(汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍;曝光系統(tǒng)、蝕刻技術(shù);防腐處理;刻蝕;晶圓鍵合;切割;芯片/導(dǎo)線焊接;封裝;微成形 (注射、熱壓);其他生產(chǎn)設(shè)備。
5、分析與檢測儀器:光罩缺陷檢測、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統(tǒng);顯微鏡:光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀;檢漏儀器、靜電負(fù)離子空氣凈化機(jī);氣體分析及檢測、分析和測量系統(tǒng)等。
6、納米機(jī)械微制程技術(shù):超精度納米機(jī)械工藝;超精密加工、微制造;表面微加工;精細(xì)鉆孔;微觀切割;雷射、離子脈沖加工;聚焦離子束系統(tǒng);微放電加工;超聲波設(shè)備等。
7、納米壓印技術(shù):微納米模型;納米壓印生產(chǎn)設(shè)等備。
8、生物技術(shù)與醫(yī)療應(yīng)用:MEMS在醫(yī)療處理及診斷方面的應(yīng)用、DDS、納米膠囊;尖端DNA&RNA 技術(shù)、微反應(yīng)器、微流引導(dǎo)、生物/化學(xué)MEMS(DNA/RNA技術(shù)、化學(xué)檢測)等。